探针是三坐标测量机的一部分，主要用来触测工件表面，使得测头的机械装置移位，产生信号触发并采集一个测量数据。三坐标一般的探针都是由一个杆和红宝石球组成。
三坐标测量机的探针有几个主要专业术语：
1）：有效工作长度 (EWL)
2）：杆直径
3）：总长（指的是从探针后固定面到测尖中心的长度）
4）：测针直径
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